GF系列具有独特的Multiflo™技术是使用各种气体的系统，工艺和设施的完美选择，经常或需要在保持气体测量和控制精度的同时更换气体类型或需要重新范围。实现流程灵活性与前所未有的流量测量和控制性能相结合。

应用

特征

• 生命科学生物反应器
• 真空过程
• 纳米技术/ MEMS制造
• 等离子体，玻璃和纤维网涂层系统
• 歧管/天然气输送系统的绝佳选择

• 可编程多气体/多范围功能
• Brooks®Multiflo™气体数据库包含数千个天然气运行，以建立校正功能
• SUB-1第二流响应时间和精度为苛刻应用的1％设定点
• 适合各种气体
• 快速响应，Hastelloy传感器
• 多协议通信选项包括DeviceNet™，Ethercat®，Profibus®和RS-485模拟接口