28/09/2020，
质量流量控制器的“可用范围”是什么意思?
质量流量控制器的“可用”范围是多少？可用范围与调低比相同吗？在我们回答这些问题之前，请确认基础知识，例如什么是质量流量控制器（MFC）以及它们在哪里使用。
MFCS在相对小的集成封装中结合了流量传感器，控制阀和电路板控制电子设备，能够自动测量和控制给定气体的流速与指定的流速。MFCS用于各种行业和应用，包括半导体芯片制造，化学工艺研究，玻璃和金属涂层，太阳能电池和光纤制造，食品加工和生物技术过程。
我们的意思是可用范围，谁应该关心什么？
让我们从一个类比开始。如果你买了一辆车，销售人员告诉你这辆车的最高时速是250英里每小时，那么这种能力的可用范围是多少?嗯，这可能取决于你是在德国的高速公路上开车还是穿过伦敦。但我们都同意，有能力走得那么快——实际上能够利用它——是非常不同的事情。伦敦的司机可能永远不会开到50英里/小时以上，所以50到250英里/小时的整个范围都不能用，而拥有这种能力并没有带来真正的好处。以类似的方式，有一个MFC与宽的拒绝可能听起来很棒，但你真的能利用这一功能吗?答案是，这取决于具体的应用程序。化学工艺研究应用的需求与食品饮料应用或薄膜沉积应用有很大的不同。
MFC的可用范围是指从设备的最小可测量流量到最大的范围。最小值通常受到流量传感器提供干净、稳定、准确信号的能力和或控制阀在高流量和低流量时保持稳定流量控制的能力的限制。
下表显示了典型的MFCS的一些准确性规格（用于比较的可变区域流量计）。该表显示了设备可用范围的几个点，并突出显示设备在某些应用中可能无法使用的区域。
当以给定速率的设备的误差高于100％的速率时，设备通常被认为在该范围内不可用。对于变量区域流量计，当调节超过10：1时，误差为率％超过速率的100％。这个区域被突出显示红色。类似地，在描绘典型的MFC精度规格的其他列上。根据精度规格，可用范围可能高达250：1，就像这种情况一样布鲁克斯SLA系列。
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阀门以低流量速率/宽划衡保持稳定控制的能力是下一步考虑因素。该装置只能控制阀门的最大泄漏速率。由于这些是控制阀，而不是关闭阀门，阀门以非常低的速率控制的能力取决于该阀门几乎与关闭阀门一样好。这取决于控制阀的类型，阀座材料，器件的全尺度范围以及器件如何设置动态响应。如果您拥有100个SCCM设备（较低的低满量程流量），阀门需要“关闭”至小于0.1的SCCM。如果您的阀门具有宽控制范围，弹性阀座和相对缓慢的响应时间，则可能存在这种类型的“关闭”/倾斜。但在阀座是金属或PTFE的更具挑战性的应用中，或者线压力高（阀门控制范围减小），或者动态响应被调整为快速作用，控制阀“关闭”的能力将“关闭”受到妥协。虽然设备规格表可以介绍较高的倾斜，但请务必了解该阀门的实际限制，并作为其“关闭”的能力。
那么谁关心可用范围，为什么？大多数流量测量和控制设备的用户关注调节和更重要的是可用范围。在某些情况下，用户可以通过利用广泛的可用范围来减少系统所需的系统中所需的MFC的数量或库存所需的备件。
在薄膜沉积应用中(半导体，太阳能电池，光纤，金属和玻璃涂层)，过程中可能有多个步骤，一些是高流速，一些是低流速。拥有一个具有广泛使用范围的设备可以减少系统中所需的mfc数量，以覆盖所需的全部流量范围。在这些应用中，它们通常决定了提供所需结果的设定点，并依赖于设备的重复性来提供所需结果。
在化工和石化研究应用中，使用范围越广，用户从设备中获得的灵活性就越大。但是，在这些应用中，他们经常对所有的饲料/输入和产品/废物/输出进行质量平衡，准确性是非常重要的。由于对高精度的要求，可用范围可能是有限的。
对于生物技术应用，一些过程在启动期间需要极低的氧气流速，但这些速率迅速扩大。类似于上述薄膜应用，如果MFC能够通过低信号与噪声和合理的响应时间提供良好的一致结果，则用户可以能够减少氧线所需的MFC的数量。
总之，任何仪器的使用范围取决于仪器的极限以及应用的要求。精度要求越严格，可用范围就越有限。一定要了解应用要求，以及在实际操作条件下考虑的设备的实际极限。
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